Termal Taramalı Prob Litografi

Fotorezist, ultra keskin ısıtmalı tarama probu ucu ile doğrudan buharlaştırılır. Isıtılmış uç, dirençlerin yerel süblimasyonuyla yüksek çözünürlüklü nanoyapılar oluşturur. Bu yöntem ile karmaşık nanoyapılar oluşturulabilir ve incelenebilir.