Kuru ve Sulu Aşındırma
Malzemenin numune yüzeyinden çıkarılmasına aşındırma denir. Bunun için ıslak aşındırma ve plazma aşındırma (kuru) sistemleri kullanılabilir. Islak aşındırma sistemleri develop, aşındırma ve temizleme işlevleri sunar. Plazma aşındırma, bir vakum ortamında gerçekleştirilir ve aktif gaz türlerinin oluşumunu, aktif türlerin yüzeye taşınmasını, yüzeyde reaksiyonu ve reaksiyon ürünlerinin uzaklaştırılmasını içerir.